一文淺析高純氣體輸送系統中氣體與管道的關系

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發布時間：

2021-12-13

高純氣體管道技術是供應系統的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送到燃氣店維持質量的關鍵技術。它包括系統的正確設計、配件和附件的選擇、施工安裝和試驗測試等。近年來，以大規模集成電路為代表的微電子產品對高純氣體的純度和雜質含量的要求越來越嚴格，對高純氣體的管道技術越來越受到關注和重視。

　　半導體氣體多對人體有害。特別是一些氣體，如SiH4的自然燃燒性，一旦泄漏，就會與空氣中的氧氣劇烈反應，開始燃燒。還有AsH3的毒性。輕微的泄漏會危及一個人的生命。也就是說，由于這種明顯的危險，對系統設計的安全性要求特別高。

　　高純氣體的適用范圍

　　氣體產品是現代工業的重要基礎原料，應用范圍非常廣泛，冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫藥等部門都使用大量普通氣體或特殊氣體。氣體應用尤其對該領域的尖端技術有重要影響，是其不可缺少的原料氣體或工藝器。只有各種新興工業部門和現代科學技術的需要和推動，氣體工業產品才能在品種、質量、數量等方面突飛猛進。在微電子和半導體產業中的應用

　　氣體的使用在半導體工藝中發揮了重要作用。特別是半導體工藝目前被廣泛應用于各產業。從傳統的ULSI、TFT-LCD到現在的微機械(MEMS)產業，都以所謂的半導體工藝作為產品的制造過程。其中工藝包括干燥刻蝕、氧化、離子捕集、離子捕集、

　　高純管道在高純氣體輸送中的重要性

　　不銹鋼冶煉材料過程中每噸可吸收約200克氣體。加工完成后，不僅表面附著著各種污染物，金屬晶格內也會吸收一定量的氣體。氣流通過管道時，金屬吸入的這部分氣體再次進入氣流。當管內氣流為不連續流動時，管道對通過的氣體施加壓力吸附，停止通過時，管內吸附的氣體又形成脅迫分析，解釋的氣體也作為雜質進入管內純氣體。與此同時，隨著吸附、分析周期的重復，管內表面金屬也會產生一定的粉末，這些金屬塵埃粒子也會污染管內的純氣體。管道的這種特性不僅需要管道內部表面非常高的柔軟度，還需要更高的耐磨性來保證輸送的高純氣體的純凈性。